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（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦称四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。
相对分子量：88.00。
在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。
沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。
液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74Mpa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5Mpa）1.0006。挥发性较高，是稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。
四氟甲烷对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，阀门（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。
产品质量标准（QUALITY STANDARD FOR CF4）
指标名称 | 高纯级 | 优级品 | 一级品 |
| 含量,%（v/v）,≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
| 氮气,%（v/v）,≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
| 氧气,%（v/v）,≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
| 水份,ppm,≤ | 5 | 5 | 10 |
| 二氧化碳,ppm,≤ | 5 | 10 | 800 |
| 氟化碳,ppm,≤ | 15 | 20 | - |
| 酸度,（HF）ppm,≤ | 0.1 | 1 | - |
| 六氟化硫,ppm,≤ | - | - | 600 |
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