莱宝无油涡旋式干泵SC5D、SC15D、SC30D、SC60D。目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速,对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求,欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。
1、SC系列真空泵特点:
•可以提供抽速为5,15,30和
•高极限真空,可达0.01mbar;
•低噪声;
•低振动;
•允许进气压力大;
•重量轻;
•能耗低;
2、应用范围:
•电子束焊接;
•激光;
•检漏系统;
•加速器/同步加速器;
•表面分析仪;
•STM’s;
•ELMI;
•小型涡轮泵组;
•搬送室;
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