BESTACE 9系列气体质量流量计及控制器，是其5系列流量计的升级版，采用了316不锈钢接液材质及17-4不锈钢阀门材质，在获得更高强度、洁净度、耐用性能的同时，保持了5系列低价位、小体积等优点，同时，产品具有CE认证，且可选LCD蓝色背光显示屏，使得9系列产品在应用于设备配套、过程控制测试设备等工况的同时，还可用于大学、实验室、流量校准等场合。

9系列产品也采用了热式测量原理，因此具有热式原理的高精度、高灵敏性、宽量程比等特点，且无需平方根修正。同时采取了毛细管取样方式，具有极低的能耗。每台设备出厂前都会按照客户指定的气体、量程，严格地按照NIST标准进行出厂校准，同时，比例调节阀嵌入在流体通道内，从而保证了精巧的体积。

技术参数：

量程：流量计5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM

材质：接液部位：316L不锈钢；外壳：17-4不锈钢

阀座及阀芯：17-4不锈钢

密封材质：标配为氟橡胶（Viton）

可选丁纳橡胶Buna，全氟醚橡胶KalRez

泄漏率：不超过1×10 毫升/秒，氦气

环境温度及介质温度：0-60℃

精度：1%FS（包括线性精度）

量程比:100:1

响应时间：500ms

重复性：优于0.15%FS

压力极限：1000PSIG

压降：流量计：250Pa

控制器：7-14KPa（500SCCM以下）

控制器：35KPa（500SCCM-20SLPM）

电源：24VDC@250mA（流量计）24VDC@350mA（控制器）

输出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入电源）

设定点信号：内置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳线）

电气连接：9针D接口（9 Pin Sub D）

温度影响系数：优于0.05%FS/℃

压力影响系数：优于0.01%FS/PSI

标准温度：21℃

标准压力：760Torr

重量：流量计：440g 控制器：460g