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DFS4000系列质量流量计简介
产品概述:
DFS4000是采用世界领先的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）。
DFS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
DFS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计；
- 支持多种连接方式，易于安装与使用；
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量；
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高；
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压；
- 零点稳定度高；
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性；
- 低功耗、低压损；
- 响应速度快；
产品技术参数:
|
性能参数 |
DFS4003 |
DFS4008 |
单位 | |
|
通 径 |
3 |
8 |
mm | |
|
流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM | |
|
量程比 |
100:1 |
| ||
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% | ||
|
重复性 |
0.75 |
% | ||
|
零点输出飘移 |
±30 |
mV | ||
|
输出飘移 |
0.12 |
%/oC | ||
|
响应时间 |
100 |
ms | ||
|
工作电源 |
8~18Vdc,100mA |
| ||
|
输出方式 |
线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
| ||
|
流量压损 |
100 |
600 |
pa | |
|
工作压力 |
0.5 |
MPa | ||
|
工作温度 |
-10 ~ +55 |
oC | ||
|
存储温度 |
-20 ~ +65 |
oC | ||
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工作湿度 |
<95%RH（无结冰、无凝露） |
| ||
|
机械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 |
| ||
|
校准方式 |
空气（或其他气体），20oC，101.325kPa |
| ||
|
重量 |
57（带R1/4,BSPT1/4接口） |
g | ||
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