微小流量计
应用行业：
微小流量计可测量空气/氧气/氮气/氩气/二氧化碳气等清洁气体的流量，微小流量计主要应用于半导体、电子、化工、医药、食品等产品制造过程中气体流量的检测及控制，医院氧气消耗量计量、实验室气体流量的检测等，微小流量计口径小至1mm，螺纹连接。
工作原理：
HLA微小流量计采用热质量气体流量传感芯片，属于质量流量传感方式的微小流量计，它是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量，由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，所以它所测的数据为质量流量。
不同于传统的“热传感器”方式采用了多个热传感器和多个热源来测量气体的质量流量（风速式热质量流量原理），HLA微小流量计采用了多个热传感器和一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。HLA微小流量计的热源十分微小，几乎不需要时间进行加热。传感器插入在相对大的流场中，在无气体流动时，传感器的热源对环境无影响，不会因此引起气体对流而导致零点变化。所以，HLA微小流量计具有极短的响应时间和优良的零点稳定性。
主要特点：
1、 采用微机电系统芯片作为传感器，微小流量计的灵敏度极高同时具有良好的零点稳定性；
2、 单个芯片上实现多传感器集成，使该微小流量计的量程比大于100：1；
3、 和传统的机械式流量计比较，压力损失大幅减小，极大的降低了能源消耗；
4、 采用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便；
5、 本微小流量计带有RS-485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理；
6、 可以选配4-20mA DC电流信号输出；
7、 通过国家防爆认证，标志为ExiaIICT4。
技术参数：
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测量范围 |
0.45-45Nm/s（流速） |
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精 确 度 |
±（1.5+0.15FS）% |
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环境温度 |
-10-55℃ |
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介质温度 |
-20-65℃ |
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湿 度 |
≤95%RH |
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显 示 |
瞬时流量（0.000-999999.999）、累计流量（0..999） |
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通信方式 |
RS485 |
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输出信号 |
4-20mA |
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供电电源 |
8-24VDC |
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连 接 |
NPT-F |
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校准条件 |
氮气，20℃，101.325kPa；可根据用户要求进行实际介质标定 |
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流量范围：
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通径
(mm) |
接口
尺寸 |
工作压力
(MPa) |
流量范围 |
备注 |
|
SCCM |
SLPM |
SCFM |
NCMH |
|
3.0 |
1/8〞 |
3.0 |
15-1500 |
0.15-15 |
|
|
|
|
6.0 |
1/4〞 |
3.0 |
|
0.5-50 |
0.02-2 |
0.035-3.5 |
|
|
8.0 |
3/8〞 |
3.0 |
|
1.2-120 |
0.045-4.5 |
0.075-7.5 |
|
|
12.0 |
1/2〞 |
3.0 |
|
3-300 |
0.1-10 |
0.17-17 |
|
|
19.0 |
3/4〞 |
3.0 |
|
10-1000 |
0.35-35 |
0.6-60 |
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备注：SCCM： 标毫升/分
SLPM： 标升/分
SCFM： 标立方英尺/分
NCMH： 标方/小时
标准状况（标况）：20℃，101.325kPa。 |
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