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一般制造臭氧所需的原料为空气或氧气。在使用放电火花产生臭氧时，必须将空气干燥到零点－50°C以下，在经冷却、过滤、除氮、纯氧浓缩的至臭氧发生器，以防止氮氧化生物生成。使用紫外线光化物作用产生臭氧，因紫外线不会分解氮，故无氮氧化物生成的忧虑。目前，在工业界臭氧以普遍被应用于矿泉水厂、食品加工厂、养殖业、废水处理、染整厂、室内除臭、船上饮水、空气处理，甚至在一般家庭也常见臭氧产生器的踪影。
臭氧的安全值约在0.01－0.03ppm，约相当于自然界中的臭氧量。一般打入水中的臭氧会在很短的时间内挥发，故常用来作为食品加工杀菌的用途，惟使用上因过农的臭氧会对人类呼吸道造成伤害，故必须加装排气设备，或必须注意室内的臭氧浓度，勿让空气中臭氧浓度超出其安全值。 |
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